1. Введение........ 2
2. Подложки интегральных микросхем и их назначение ................................ 3
2.1. Назначение подложек 3
2.2. Кремний - основной материал полупроводникового производства................4
3. Виды загрязнений поверхности подложек и пластин............................................................ 5
3.1. Возникновение загрязнений.................................................................................................... 5
3.2. Источники загрязнений............................................................................................6
3.3. Виды загрязнений 6
4. Методы удаления загрязнений.... 8
4.1. Классификация методов очистки пластин и подложек ............ 8
4.2. Способы жидкостной обработки пластин и подложек ............ 9
4.2.1. Обезжиривание 9
4.2.2. Травление 10
4.2.3. Промывание пластин и подложек............ 13
4.2.4. Интенсификация процессов очистки 13
4.3. Способы сухой очистки пластин и подложек 15
4.3.1. Термообработка 15
4.3.2. Газовое травление 16
4.3.3. Ионное травление 17
4.3.4. Плазмохимическое травление 17
4.4. Типовые процессы очистки пластин и подложек ................19
Дата размещения
на сайте:
25.03.2011
Количество раз скачена:
0 раз
Цена:
500 руб.
Чтобы получить готовую работу № 3415 (Химические способы очистки подложек и пластин), Вам необходимо ее оплатить одним из способов указанным на сайте (см. раздел "Оплата"). После этого нужно прислать нам на почту письмо с указанием номера готовой работы и приложить к письмо фото или скан чека оплаты. Работа высылается Вам на эл. почту.
Работы на заказ
Компания "SaveStud.Su" уже многие годы работает и помогает студентам. На рынке образовательных услуг мы существуем уже с 2001 года и за это время четко и уверенно вышли в лидеры, благодаря качеству выполняемых работ на заказ, а так же оперативности и индивидуальному подходу к каждому студенту. У нас появились представительства в других городах, не только в Москве и Санкт-Петербурге, а дистанционное сотрудничество дает возможность обратится к нам любому студенту. Мы меняемся для Вашего удобства, лишь наш девиз неизменен: «Качественные работы в срок».
Магазин готовых работ
Уникальные авторские работы, написанные специалистами компании SaveStud.Su, вы можете приобрести по цене 30% от стоимости нового заказа. Все работы прошли проверку на уникальность и качество. Сдавались 1 раз и были успешно зачтены.